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半导体应用-FITOK ALD 系列原子层沉积隔膜阀
发布时间:2021-06-25        浏览次数:20        返回列表
  • 高速执行下超高循环寿命
  • 响应速度快,可在低于 5 ms 内完成阀门开启和关闭
  • 耐热型延长热应用场合的执行器寿命
  • 全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能力
  • Elgiloy 合金隔膜提高强度和耐腐蚀,使用寿命长
  • 高纯级 PFA 阀座,广泛的化学兼容性
  • 极少产生颗粒和死区,易吹扫
  • 提供带电感式传感器、电磁阀组件及加热棒和热电偶安装孔的阀门

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